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1. スペック検討

• データを受付・検討し、インピーダンスシミュレーションを行った後、作業に最適な条件の下で実施する。
• インピーダンス回路の幅を指定し、CAM作業の際に補正をして記録できるようにする。
• 原料・資材およびスタックアップを検討し、インピーダンスに最適な条件の下で投入する。
• 作業指図書にインピーダンス製品を明確に明記し、作業中に記録できるように日誌を添付する。

2. メッキの厚さ

• 作業指図書の規格に基づき、メッキの厚さを測定して管理する。

3. D/F , E/T

• フィルムインピーダンスポイントを測定して記録する。
• E/Tの後に回路幅を測定し、フィルム上に回路幅を分析し、E/Tになるところを記録紙に記録する。(E/Tの際にパターンに与える影響)
• インピーダンス測定装置を使い、インピーダンス測定値をチェックし、異常がある場合はCAM/品質チームに通知し、回路幅を再調整した後、作業を再開する。

4. インピーダンス測定および管理

• 測定装置を使って、各範囲別にクーポンを測定する。
• ロット別にクーポンおよび実際の製品の内部にX-Sectionを実施し、回路幅や銅の厚さ、絶縁層の厚さなどのデータをスペックとしてフィードバックする。
• 測定時のNG Lotは不良として見なし、工程異常ロットの処理基準に基づいて処理する。
• インピーダンスクーポンの保存期間は、1年とする。

5. スペック/技術

• 製品の製作完了後に製品や測定値などは品評会などで検討し、問題点を把握して解決方法などをフィードバックして管理する。
• 分析室での測定データ/工程データをＤＢ化し、インピーダンスシミュレーション値と実際測定値が最適な状態を維持できるようにする。
• 電算/ERPに登録し、すべてのモデルが管理できるようにする。

該当指針の主要管理項目

No	管理項目	管理基準	測定方法	期間	担当者	管理方法	対応措置	備考
1	Impedance	ERP	インピーダンス測定値	LOT	分析室	測定器